مبانی ساخت ریز و فناوری نانو، مجموعه سه جلدی دامیز ۲۰۱۸
Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology, Three-Volume Set 2018

ویرایش سوم کتاب مبانی ساخت ریزمقیاس و فناوری نانو همچنان جامع‌ترین پوشش را در زمینه‌ی MEMS ارائه می‌دهد. این نسخه‌ی جدید از کتاب پرفروش و همیشه‌محبوب، با بازبینی و به‌روزرسانی کامل، به سه جلد توسعه یافته است که نشان‌دهنده‌ی رشد چشمگیر این حوزه است. این مجموعه شامل انبوهی از اطلاعات نظری و عملی در مورد فناوری نانو و NEMS است و اطلاعاتی زمینه‌ای و جامع در مورد مواد، فرآیندها و گزینه‌های تولید ارائه می‌دهد.

جلد اول، رویکردی کاملاً نظری به علوم میکرو و نانو ارائه می‌دهد و شامل بخش‌هایی در مورد فیزیک حالت جامد، مکانیک کوانتومی، کریستالوگرافی و سیالات است. جلد دوم، مجموعه‌ای بسیار بزرگ از تکنیک‌های تولید برای ساخت ریزمقیاس و نانومقیاس را ارائه می‌کند و اشکال مختلف لیتوگرافی، فرآیندهای حذف مواد و فناوری‌های افزودنی را پوشش می‌دهد. جلد سوم بر تکنیک‌های تولید و کاربردهای Bio-MEMS و Bio-NEMS تمرکز دارد. این اثر برجسته که در سرتاسر آن از تصاویر رنگی استفاده شده است، یک متن آموزشی متقن است که برای کلاس‌های درس و خودآموزان، مثال‌های حل‌شده و مسائل انتهای فصل را ارائه می‌کند. نویسنده حوزه‌های تحقیقاتی اصلی را مشخص و تعریف کرده و آن‌ها را با مثال‌هایی برگرفته از جدیدترین مقالات علمی و از کار خود به تصویر می‌کشد.

Now in its third edition, Fundamentals of Microfabrication and Nanotechnology continues to provide the most complete MEMS coverage available. Thoroughly revised and updated the new edition of this perennial bestseller has been expanded to three volumes, reflecting the substantial growth of this field. It includes a wealth of theoretical and practical information on nanotechnology and NEMS and offers background and comprehensive information on materials, processes, and manufacturing options.

The first volume offers a rigorous theoretical treatment of micro- and nanosciences, and includes sections on solid-state physics, quantum mechanics, crystallography, and fluidics. The second volume presents a very large set of manufacturing techniques for micro- and nanofabrication and covers different forms of lithography, material removal processes, and additive technologies. The third volume focuses on manufacturing techniques and applications of Bio-MEMS and Bio-NEMS. Illustrated in color throughout, this seminal work is a cogent instructional text, providing classroom and self-learners with worked-out examples and end-of-chapter problems. The author characterizes and defines major research areas and illustrates them with examples pulled from the most recent literature and from his own work.