فناوری و کاربردهای خلاء ۲۰۱۳
Vacuum Technology and Applications 2013

فناوری خلاء و کاربردها، به بررسی رایج‌ترین روش‌های تولید، نگهداری و اندازه‌گیری فشارهای زیر اتمسفر می‌پردازد. این کتاب همچنین به تشریح تعدادی از کاربردهای بسیار مهم این فناوری می‌پردازد.

این متن در هشت فصل تنظیم شده است و با مروری مختصر بر اصول اساسی فناوری خلاء آغاز می‌شود. فصل‌های بعدی به پمپ‌های مورد استفاده برای تولید خلاءهای کم تا متوسط و بالا تا فوق‌العاده بالا می‌پردازند. این فصل‌ها به طور خاص اصول، عملکرد و کاربردهای آن‌ها را پوشش می‌دهند. پس از این مباحث، بحثی در مورد دستگاه‌های تجزیه و تحلیل گازهای باقیمانده و اندازه‌گیری فشار جزئی ارائه می‌شود.

فصل‌های دیگر به جنبه‌های تشخیص نشتی با استفاده از طیف‌سنج جرمی حساس به هلیوم و مواد، اجزاء و ساخت دستگاه‌های خلاء می‌پردازند. فصل‌های پایانی به بررسی کاربرد فناوری خلاء در زمینه‌های حیاتی فعالیت‌های صنعتی، مانند فناوری لایه‌نازک، نیمه‌هادی‌ها، متالورژی و صنایع شیمیایی می‌پردازند.

این کتاب برای مهندسان مکانیک، شیمی و طراحی مفید خواهد بود.

Vacuum Technology and Applications reviews the most commonly encountered methods for the production, containment, and measurement of subatmospheric pressure. This book also outlines a number of very important applications of this technology. This text is organized into eight chapters and begins with a brief survey of the fundamental principles of vacuum technology. The succeeding chapters deal with the pumps used for the production of rough-medium and high-ultra-high vacua. These chapters specifically cover their principles, performance, and applications. These topics are followed by a discussion of the devices for residual gas analysis and partial pressure measurement. Other chapters consider the aspects of leak detection using He-specific mass spectrometer and the materials, components, and fabrication of vacuum devices. The final chapters explore the application of vacuum technology in critical areas of industrial activity, such as thin-film technology, semiconductor, metallurgy, and chemical industry. This book will prove useful to practicing mechanical, chemical, and design engineers.