لایه نشانی بخار فاز فلز-آلی ۲۰۱۲
Organometallic Vapor-Phase Epitaxy 2012

این کتاب، یکی از نخستین آثار تک‌مولفی است که به بررسی لایه‌نشانی بخار فلز-آلی (OMVPE) می‌پردازد؛ روشی پیشرو در ساخت مواد و ادوات نیمه‌رسانا. همچنین، در این اثر، روش‌های لایه‌نشانی در خلأ بسیار بالا، از جمله لایه‌نشانی باریکه‌ی مولکولی فلز-آلی (MOMBE) و لایه‌نشانی باریکه‌ی شیمیایی (CBE)، با استفاده از مولکول‌های منبع فلز-آلی گنجانده شده است.

این کتاب که برای پژوهشگران، دانشجویان و فعالان صنعت نیمه‌رسانا جذاب خواهد بود، مبنای اولیه‌ای برای درک این تکنیک و کاربرد OMVPE در رشد مواد نیمه‌رسانای گروه III-V و II-VI و ساختارهای ویژه‌ی مورد نیاز برای کاربردهای ادوات ارائه می‌دهد.

علاوه بر این، خلاصه‌ای جامع در مورد نتایج OMVPE که تاکنون در طیف گسترده‌ای از نیمه‌رساناهای III-V و II-VI مشاهده شده است، ارائه می‌شود. این خلاصه‌سازی شامل مقایسه‌ای از نتایج به‌دست‌آمده از طریق استفاده از سایر تکنیک‌های لایه‌نشانی مانند لایه‌نشانی باریکه‌ی مولکولی (MBE)، لایه‌نشانی فاز مایع (LPE) و لایه‌نشانی فاز بخار با استفاده از انتقال هالید است.

Here is one of the first single-author treatments of organometallic vapor-phase epitaxy (OMVPE)–a leading technique for the fabrication of semiconductor materials and devices. Also included are metal-organic molecular-beam epitaxy (MOMBE) and chemical-beam epitaxy (CBE) ultra-high-vacuum deposition techniques using organometallic source molecules. Of interest to researchers, students, and people in the semiconductor industry, this book provides a basic foundation for understanding the technique and the application of OMVPE for the growth of both III-V and II-VI semiconductor materials and the special structures required for device applications. In addition, a comprehensive summary detailing the OMVPE results observed to date in a wide range of III-V and II-VI semiconductors is provided. This includes a comparison of results obtained through the use of other epitaxial techniques such as molecular beam epitaxy (MBE), liquid-phase epitaxy (LPE), and vapor phase epitaxy using halide transport.