روش‌هاى مترولوژى و تشخيصى براى نانو الكترونيك ۲۰۱۷
Metrology and Diagnostic Techniques for Nanoelectronics 2017

نانوالکترونیک شیوه ارتباطات جهانی را دگرگون کرده و زندگی روزمره ما را دستخوش تغییرات اساسی نموده است. تداوم قانون مور و کوچک‌سازی تراشه‌های نیمه‌هادی کم‌مصرف با کارایی روزافزون، بی‌وقفه محرک تحقیق و توسعه دستگاه‌ها، مواد و قابلیت‌های فرآیندی جدید برای برآورده‌سازی الزامات عملکرد، توان و هزینه بوده است. این کتاب به بررسی آخرین پیشرفت‌ها در تحقیقات و شیوه‌های صنعتی در حوزه نانومترولوژی می‌پردازد که برای تداوم مقیاس‌بندی فناوری و نوآوری محصول حیاتی است. این اثر به طور جامع به موضوع پرداخته و موضوعات نوظهور و مهم در تحقیق و توسعه و تولید نیمه‌هادی را مورد بررسی قرار می‌دهد. این کتاب، راهنمای کاملی برای فنون مترولوژی و تشخیص است که برای فناوری فرآیند، بسته‌بندی الکترونیکی و توسعه و عیب‌یابی محصول ضروری است – رویکردی منحصربه‌فرد در مقایسه با سایر کتاب‌ها. نویسندگان این اثر از دانشگاه‌ها، آزمایشگاه‌های دولتی و صنعت بوده و دارای تجربه و تخصص گسترده‌ای در موضوعات ارائه شده هستند. این کتاب برای همه کسانی که در تولید مدارهای مجتمع و نانوالکترونیک فعالیت دارند و همچنین برای کسانی که به مطالعه فناوری‌های فرآیند و مونتاژ نانوالکترونیک می‌پردازند یا در زمینه‌های آزمایش، شناسایی ویژگی‌ها و فنون تشخیصی دستگاه‌ها کار می‌کنند، مناسب است.

Nanoelectronics is changing the way the world communicates, and is transforming our daily lives. Continuing Moore’s law and miniaturization of low-power semiconductor chips with ever-increasing functionality have been relentlessly driving R&D of new devices, materials, and process capabilities to meet performance, power, and cost requirements. This book covers up-to-date advances in research and industry practices in nanometrology, critical for continuing technology scaling and product innovation. It holistically approaches the subject matter and addresses emerging and important topics in semiconductor R&D and manufacturing. It is a complete guide for metrology and diagnostic techniques essential for process technology, electronics packaging, and product development and debugging—a unique approach compared to other books. The authors are from academia, government labs, and industry and have vast experience and expertise in the topics presented. The book is intended for all those involved in IC manufacturing and nanoelectronics and for those studying nanoelectronics process and assembly technologies or working in device testing, characterization, and diagnostic techniques.