راهنمای عملی سنجش نوری لایه‌های نازک ۲۰۱۲
A Practical Guide to Optical Metrology for Thin Films 2012

راهنمای جامع و کاربردی تعیین و اندازه‌گیری ضخامت لایه‌های نازک با استفاده از روش‌های اپتیکی. این کتاب راهنما، قوانین تابش الکترومغناطیسی و برهم‌کنش نور با ماده، همچنین تئوری و عمل اندازه‌گیری ضخامت، و کاربردهای نوین را پوشش می‌دهد. در این راستا، قابلیت‌ها و فرصت‌های تعیین ضخامت اپتیکی را نشان داده و نقاط قوت و ضعف دستگاه‌های اندازه‌گیری را به همراه روش‌های ارزیابی آن‌ها مورد بحث قرار می‌دهد.

پس از مقدمه‌ای بر موضوع، فصل دوم به مبانی انتشار نور و سایر تشعشعات الکترومغناطیسی در فضا و ماده می‌پردازد. موضوع اصلی این کتاب، یعنی تعیین ضخامت یک لایه در یک ساختار لایه‌ای با اندازه‌گیری بازتاب یا عبور طیفی، در سه فصل بعدی مورد بررسی قرار می‌گیرد. رنگ لایه‌های نازک در فصل ششم مورد بحث قرار گرفته است. در نهایت، در فصل هفتم، نویسنده به چندین کاربرد صنعتی اندازه‌گیری ضخامت لایه، از جمله پوشش‌های بازتاب بالا و ضد بازتاب، ساختارهای فوتولیتوگرافی نیمه‌رساناها، سیلیکون روی عایق، لایه‌های رسانای شفاف، اکسیدها و پلیمرها، فتوولتائیک لایه نازک و سیلیکون بسیار آلاییده می‌پردازد.

هدف این کتاب، محققان صنعتی و دانشگاهی، مهندسان، توسعه‌دهندگان و تولیدکنندگانی است که در تمام زمینه‌های اندازه‌گیری لایه اپتیکی و فیلم نازک اپتیکی و مترولوژی، کنترل فرآیند، نظارت بی‌درنگ و کاربردها فعالیت دارند.

A one-stop, concise guide on determining and measuring thin film thickness by optical methods. This practical book covers the laws of electromagnetic radiation and interaction of light with matter, as well as the theory and practice of thickness measurement, and modern applications. In so doing, it shows the capabilities and opportunities of optical thickness determination and discusses the strengths and weaknesses of measurement devices along with their evaluation methods. Following an introduction to the topic, Chapter 2 presents the basics of the propagation of light and other electromagnetic radiation in space and matter. The main topic of this book, the determination of the thickness of a layer in a layer stack by measuring the spectral reflectance or transmittance, is treated in the following three chapters. The color of thin layers is discussed in chapter 6. Finally, in chapter 7, the author discusses several industrial applications of the layer thickness measurement, including high-reflection and anti-reflection coatings, photolithographic structuring of semiconductors, silicon on insulator, transparent conductive films, oxides and polymers, thin film photovoltaics, and heavily doped silicon. Aimed at industrial and academic researchers, engineers, developers and manufacturers involved in all areas of optical layer and thin optical film measurement and metrology, process control, real-time monitoring, and applications.